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시노펙스, MB필터 제조 방법 및 장치 관련 특허 등록

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▶시노펙스, 관형 MB필터의 ‘다층구조 형성을 위한 제조방식’과 관련된 특허 결정 통보
▶30년간 MB필터 제조공급, 국내 최초로 MB방식의 Absolute 필터관련 독점권한 확보
▶ 마스크용 나노급 초극세사 MB필터 이달 중 시험 생산하고 대량공급 체제 구축할 예정

 

​시노펙스가 MB필터 제조와 관련된 방법 및 장치에 관련된 특허를 받았다. 

​시노펙스는 ‘관형필터를 멜트블로운(MB, Melt-Blown) 방식으로 제조하는 방법 및 장치 – 다층 구조형성을 위한 제조방식’과 관련하여 특허청으로부터 1일자로 특허권이 결정되었음을 통보 받고 등록 절차를 밟고 있다고 4일 밝혔다. 

 

시노펙스는 지난 2016년 국내 최초이자 세계 두 번째로 Absolute 즉, 절대여과 등급의 심층여과 필터 (Melt-Blown Depth Absolute Filter) 개발에 성공한 이래 지속적으로 업그레이드를 추진해왔다. 그 결과 지난 2017년 10월에는 기공사이즈 면에서 세계 최고 수준인 0.2㎛에 이르고 성능에서도 동등 수준 이상임을 확인, 이와 관련된 독자적인 제조 방법 및 장치에 관련된 특허를 진행해 왔다. 

 

그간 일본, 중국 등 세계 각국에서 도전했음에도 불구하고 기공의 사이즈, 유량 및 필터 수명 등 전반적인 제품 성능이 기대에 미치지 못했다. 하지만 시노펙스는 30년 이상 MB필터를 제조하여 반도체 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정 및 관련 슬러리 제조사 등을 대상으로 공급해오며 쌓아온 기술과 노하우를 바탕으로 초미세 Fiber의 개발과 전용 장비 구축을 통해 관련된 필터 제조 기술을 향상시켰다. 

 

​MB필터 기술 개발과 관련하여, 시노펙스는 지난 4월 산업통상자원부 산하 한국산업기술평가관리원으로부터 ‘반도체 공정 고효율화 CMP 슬러리 정제용 필터 소재 및 고기능성 제품화 기술 개발’ 프로젝트 수행 기업으로 선정되기도 했다. 이는 지난해부터 추진되고 있는 소재부품기술개발 사업분야의 프로젝트로서 오는 2024년 연말까지 CMP 슬러리 정제용 필터 소재 및 제품에 대해 ‘포집 효율, 기공 유지 및 수명 향상’ 등의 성능개선을 목표로 진행된다. 

 

한편, 지난 3월 일본 등으로부터 전량 수입에 의존할 수 밖에 없던 고성능 헤파필터를 대체하여 국산화함과 동시에 나노급의 초극세사 MB필터 공급을 위해 추진해온 신규 라인 증설이 마무리 단계에 있어, 이달 중으로는 시험생산하고 대량공급 체제를 구축해 나갈 예정이다. 

 

​시노펙스 멤브레인필터사업부의 석유민 R&D 센터장은 “국내 소부장산업 경쟁력 향상 차원에서 CMP MB필터 등을 포함하여 Air 및 Liquid 용 멤브레인필터의 각종 소재부터 필터 제품에 이르기까지 기술경쟁력을 지속적으로 향상시키고 있으며, 그 성과물들도 계속 나오고 있다”며 “특히, 최근 인수한 프론텍에 당사의 기술력을 더해 고성능 불소수지계 멤브레인필터와 수소연료전지 지지체 등 다양한 분야에서도 소재 국산화 및 기술 향상을 위한 노력을 지속해 나갈 것”이라고 밝혔다. 

 

[출처 : 시노펙스, MB필터 제조 방법 및 장치 관련 특허 등록]



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